Remigius Poloczek – Nanostrukturierter CMOS-kompatibler Drucksensor

Parallel zu den Entwicklungen im Bereich der Mikroelektronik sind die Möglichkeiten der Sensorik sowohl durch die Miniaturisierung als auch durch die gleichzeitige Verbindung der Elektronik mit der Mechanik zu sogenannten Mikro-Elektro-Mechanischen-Systemen, kurz MEMS, regelrecht revolutioniert worden.
Als bedeutender Baustein dieser Technologie wird ein innovativer Drucksensor vorgestellt und dessen Herstellung mittels Nanostrukturierung demonstriert. Hierbei stehen die Analyse der möglichen Flächenoptimierung und die Erhöhung der Sensitivität gegenüber bestehenden Sensorkonzepten im Vordergrund.

1. Auflage
2014. 126 Seiten; gebunden; Farbbilder; 15,6 x 23,1 cm
Preis: 29,90 EUR
ISBN 978-3-9815495-2-2; € 29,90

Inhaltsverzeichnis

Vorwort
Inhaltsverzeichnis
Abkürzungsverzeichnis
Liste der verwendeten Formelzeichen

1 Einleitung

2 Konventionelle Drucksensoren

3 Mikromechanische Drucksensoren
3.1 Entwicklung mikromechanischer Drucksensoren
3.2 Herstellungsverfahren
3.2.1 Volumenmikromechanik
3.2.2 Oberflächenmikromechanik
3.2.3 Vergleich zwischen Bulk- sowie Oberflächenmikromechanik
3.2.4 Realisierung auf Silicon-on-Insulator Substrat
3.3 Elektro-mechanische Wandler
3.3.1 Resistive Wandlung
3.3.2 Kapazitive Wandlung
3.3.3 Alternative Verfahren

4 Alternatives Verfahren zur Herstellung eines Drucksensors
4.1 Konzept des Sensors
4.2 Schematischer Prozessablauf
4.3 Dimensionierung mittels der Finiten Elemente Methode
4.3.1 Einführung in die FEM
4.3.2 Modellbildung und Randbedingungen
4.3.3 Simulationsergebnis

5 Prozessierung und Optimierung
5.1 Prozessierung des Sensors
6 Charakterisierung des Sensors
7 Zusammenfassung und Ausblick

Literaturverzeichnis